涂層機(jī)(Spin Coater)，有許多別名：膠機(jī)，涂層機(jī)，旋轉(zhuǎn)涂敷儀，有甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等，其涂層機(jī)工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
涂層機(jī)適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶圓片、光學(xué)玻璃、化學(xué)玻璃等表面涂覆材質(zhì)，美國(guó)Laurell高精度的旋涂?jī)x涂層機(jī)主要應(yīng)用科研院所進(jìn)行科學(xué)研究，課題公關(guān)所用。
涂層機(jī)特色：
◆ 科研制備理想的涂層機(jī)旋涂?jī)x；
◆ 涂層機(jī)由NPP或Teflon材質(zhì)構(gòu)造；
◆ 涂層機(jī)分為150毫米，200毫米和300毫米三種腔體大??；
◆ 涂層機(jī)可選擇臺(tái)式，立式和特殊環(huán)境內(nèi)置式不同外形；
◆ 涂層機(jī)的轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM；
◆ 易編程的數(shù)碼控制器（400/500型控制器）；
◆ 可升級(jí)成為自動(dòng)滴膠型涂層機(jī)；
